Рентгеновская структурная диагностика в исследовании приповерхностных слоев монокристаллов
Афанасьев А.М., Александров П.А., Имамов Р.М.
Изложены основные идеи физики дифракции рентгеновских лучей, направленные на создание методов анализа кристаллической структуры тончайших приповерхностных слоев и границ раздела кристаллов высокой степени совершенства, в первую очередь полупроводниковых кристаллов, являющихся основой современной микроэлектроники.
Ano:
1986
Editora:
Наука
Idioma:
russian
Páginas:
97
Série:
Проблемы науки и технического прогресса (ПНТП)
Arquivo:
DJVU, 1.57 MB
IPFS:
,
russian, 1986
Litres
Quer adicionar a sua livraria? Entre em contato conosco em support@z-lib.do
Converter ficheiros 
Mais resultados de pesquisa
Outros benefícios 
